renishaw激光干涉儀可用于數(shù)控機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點(diǎn)是在具有強(qiáng)大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度，其分辨率可以達(dá)到納米級，從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

　　

　　與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為數(shù)控機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機(jī)床誤差來源：而且測量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。

　　

　　位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo)，目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。因此，用激光干涉儀檢測機(jī)床各項(xiàng)誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。

　　

　　renishaw激光干涉儀在數(shù)控機(jī)床的應(yīng)用

　　

　　一、直線度測量

　　

　　1、沿水平軸直線度測量，激光器發(fā)射出的光束穿過中間的直線度干涉鏡，分為兩束同頻的光源，通過直線度反射鏡反射匯聚到干涉鏡，再返回激光器。此種測量方法，可以檢測出干涉的光波在直線度干涉鏡移動(dòng)的方向上產(chǎn)生多少偏差，可以用來調(diào)試設(shè)備。

　　

　　2、沿垂直軸直線度測量，將激光干涉儀水平光束轉(zhuǎn)換成垂直光束。

　　

　　二、線性測量

　　

　　renishaw激光干涉儀是高精度的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進(jìn)行定義，可以定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等多項(xiàng)檢測機(jī)床軸的精度指標(biāo)，需要用到一個(gè)各線性分光鏡和兩個(gè)線性反射鏡。

　　

　　新機(jī)床大多使用激光干涉儀進(jìn)行定位精度和重復(fù)定位精度以及反向間隙的檢測，機(jī)床使用一段時(shí)間后，由于絲杠的磨損和其它原因，精度會逐漸喪失，也需要使用renishaw激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)。